Les refroidisseurs thermoélectriques à effet Peltier sont couramment employés dans les circuits électroniques. Ils sont efficaces avec des dimensions de l’ordre du centimètre, mais ne peuvent refroidir une puce que dans son ensemble. Deux chercheurs américains sont parvenus à les miniaturiser. Xiaofeng Fan et Ali Shakouri, de l’université de Californie à Santa Barbara, ont mis au point des microrefroidisseurs mesurant de 30 à 150 µm de côté. Ainsi miniaturisés, ils peuvent être installés directement dans des circuits intégrés et en refroidir sélectivement certaines parties.Les microrefroidisseurs sont constitués d’un empilement de 200 couches de semi-conducteurs (du silicium et un alliage à base de silicium, de germanium et de carbone) ayant une épaisseur totale de 3 µm. Chaque couche prend la forme d’un toit de tuiles, ce qui rend le refroidissement plus efficace. Le prototype de refroidisseur mis au point a permis de diminuer de 7?’ C la température d’une puce de silicium à 100?’ C, ce qui reste insuffisant. Toutefois, Xiaofeng Fan précise dans un article récemment publié par Applied Physics Letters qu’en optimisant leur conception, “un refroidissement de plusieurs dizaines de degrés est possible “.
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